走査電子顕微鏡 (SEM)

Scanning Electron Microscope (SEM)

MEAの触媒層厚さ、細孔構造や元素分布など、MEAの性能要因や劣化要因となる構造情報を明らかにし、材料設計指針を提示する。

用　途

触媒層やガス拡散層の表面および断面観察

原　理

細く絞った電子線を偏向して試料表面を走査し、試料から発生する二次電子や反射電子を検出することで、試料の表面構造をナノメートル分解能で可視化できる。EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)検出器と組み合わせることで、元素分析も行える。

装　置

特　長

・高分解能観察が可能
・元素分析が行える
・バルクサンプルの観察が行える
(試料サイズ：最大150mm φ)

仕　様

電子銃: ショットキータイプ
電界放出型電子銃
加速電圧: 0.5～30 kV
分解能: 　1.2 nm
倍率: 　　 ×10～500,000
検出器: 二次電子検出器 (表面形態情報)
反射電子検出器 (組成情報)
EDS検出器 (元素情報)

活用事例

作製した触媒層の構造評価

サンプル：触媒層-MPL界面 (集束イオンビーム(FIB)で断面作製)