走査型電子顕微鏡(SEM)
Scanning Electron Microscope
ナノメートル分解能で構造評価・元素分析が可能
用 途
ガス拡散層および触媒層の微細構造観察
原 理
細く絞った電子線を偏向して試料表面を走査することにより試料から発生する二次電子や反射電子を検出器することで、試料の表面構造をナノメートル分解能で可視化できる。EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)検出器と組み合わせることで元素分析も行える。
特 長
・高分解能観察が可能
・元素分析が行える
・バルクサンプルの観察が行える
仕 様
JSM-7000F(日本電子社製)
電子銃:ショットキータイプ
電界放出型電子銃
加速電圧: 0.5～30 kV
分解能:1.2 nm
倍率: × 10～500000
検出器:二次電子検出器
反射電子検出器
EDS検出器
活用事例
作製した触媒層の構造評価
sample:集束イオンビームで作製した触媒層-MPL界面
